Разработка технологии синтеза наноструктурных боридних и боридонитридних пленок переходных металлов для применения в машиностроении

Название технологии

Разработка технологии синтеза наноструктурных боридних и боридонитридних пленок переходных металлов для применения в машиностроении

Аннотация предложения

Технология предназначена для получения термостабильной многослойной пленки HfB2-HfO2 методом ВЧ-мегнетронного распыления с последующим отжигом пленки при температурах до 10000С. Полученные пленочные наноструктуры могут быть использованы в различных отраслях промышленности при изготовлении изделий микро-, опто-, наноэлектроники, машиностроения, оптики, медицины, в частности, для создания антикоррозионных биосовместимых сверхтвердых и износостойких покрытий.

Описание предложения

Пленки диборида гафния в различных структурных состояниях были получены на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н9Т методом ВЧ-магнетронного распыления. Отжиг осуществлялся в печи СНВЕ-1.3.1/16 при температуре 600 .. 10000С с шагом 1000С в течение 1 часа. Толщина оксидного слоя изменялась от 100 до 600 нм. Исследование фазового состава и структурные исследования проводились на рентгеновском дифрактометре ДРОН-3М.

Преимущества предложения

Разработаны новые инновационные технологий реактивного ионно-плазменного синтеза многослойных функциональных, в том числе нанокомпозиционных, покрытий и структур, с улучшенными параметрами, в частности, оксидов и нитридов переходных металлов, а также их комбинаций в составе многослойных и нанокомпозиционных структур для нужд микроэлектроники, биомедицины, ядерной энергетики и машиностроения.

Текущая стадия развития

В лаборатории плазменных технологий ДГМА осуществляются исследования пленок боридов и боридонитридив ванадия, тантала и гафния, которые до этого времени практически не изучались. Проведено исследование кинетики формирования пленочных покрытий боридов переходных металлов нереактивным методом ВЧ магнетронного распыления и боридонитридив реактивным методом в зависимости от процентного соотношения азота в смеси газов. Впервые исследован и объяснено механизм нитридизации мишени, в смеси газов «аргон + азот», который приводит к отсутствию боридних фаз в полученных покрытиях. Установлена взаимосвязь между составом и физико-механическими характеристиками, конденсированных пленок.

Добавить комментарий