Лазерная спекл-интерферометрическая приставка к оптическим микроскопам (ESPI-приставка)
Использование лазерных спекл-интерферометрических приставок к оптическим микроскопам (ESPI-приставок), позволяющим им работать в режиме интерферометра, что сообщает им свойство сверхразрешения (до 10 нм. по высоте рельефа образцов), чувствительность к вариациям коэффициента преломления образцов, что позволяет производить исследования фазовой структуры образцов, и возможность строить 3D изображения исследуемых объектов.